国产自主知识产权MOCVD设备用于LED芯片批量生产

 中国电子报、电子信息产业网  作者:
发布时间:2015-05-11
放大缩小

 

  中晟光电设备(上海)股份有限公司推出的ProMaxy®MOCVD是国内首台自主创新具有自主知识产权、用于半导体光电器件LED芯片外延的生产设备。自该产品发布以来,中晟光电先后与共多家LED芯片厂商共同承担了工信部《采用国产MOCVD设备开发/产业化 超高亮度LED》和《LED芯片生产线用关键成套设备工艺开发及产业化》等重大研发及产业化项目,在项目的实施过程中与华灿光电、圆融光电、德豪润达、湘能华磊等多家企业共同努力,目前进展顺利。

    华灿光电在对ProMaxy®MOCVD设备进行测试、试产阶段评估后,现进入LED芯片外延大规模量产阶段,证明中晟光电的ProMaxy® MOCVD设备系统具备的各项性能指标可以满足LED芯片外延量产需求,并具有明显优势。

  华灿光电股份有限公司总裁刘榕博士说:“我们与中晟光电共同承担了工信部项目。在项目实施过程中,中晟光电的MOCVD设备经过安装调试评估后,顺利地进入华灿高性能LED生产序列,并在LED外延量产中,表现出良好的稳定性和重复性,为华灿光电在市场竞争中赢得了口碑。我们对中晟光电团队在高端装备领域取得的成就表示钦佩。”

    华灿光电外延中心副总裁魏世祯博士表示,中晟光电公司的ProMaxy® MOCVD设备具有性能稳定、重复性好;高亮度LED外延芯片产品综合良品率提高3%~5%;芯片抗静电性能(ESD)明显优于同类产品3%以上;产能高,单片外延成本可节省20%。华灿愿意在后续生产扩产和技术创新中继续与中晟开展合作。

  中晟光电首席执行官陈爱华博士表示:“在实现MOCVD装备本地化战略目标的进程中,中晟取得了关键的阶段性成果:以自主创新的MOCVD核心技术制造的ProMaxy® MOCVD设备获得了市场检验和认可,实现了产业化,进入世界先进水平行列。中晟将不断加强与客户之间的合作,进一步提升ProMaxy®的性能及时推出新一代产品,满足市场不断增长的需求,为中国LED照明产业发展提供有力支撑,增添新的活力!”


来源:中国电子报、电子信息产业网            责任编辑:
分享到:
0