IMT与北京大学微纳电子学研究院深入合作推动MEMS工艺技术持续发展

 中国电子报、电子信息产业网  作者:
发布时间:2016-12-15
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  12月8日,美国的MEMS 技术和制造服务提供商IMT公司(Innovative Micro Technology)宣布:公司为北京大学微纳电子学研究院的三位学生颁发了2016年度MEMS专项奖学金,以奖励他们在MEMS工艺技术开发领域的杰出成就。这次颁奖也标志着IMT与北京大学微纳电子学研究院开展战略合作已满一周年。该奖学金已为MEMS器件制造工艺技术及相关领域内的基础研究提供了支持,接下来将继续推动MEMS技术的创新,并将在全球范围内为人才培养提供帮助。

  在对所有申请奖学金的候选人进行大量评估和答辩后,北京大学微纳电子学研究院将奖学金授予了三位学生。2016年度奖学金的获得者是程晓亮、毛逸飞和张立。这三位IMT奖学金获得者的研究方向分别为使用碳氟等离子体的无掩膜皱纹结构的可控制造,聚焦离子束应力引入技术,以及SOG(Silicon On Glass)工艺质量监控和工艺相关参数提取。他们的研究成果在MEMS工艺技术方面取得了突破,并且在MEMS器件制造及应用中具有发展潜力和前景。

  MEMS已经成为了一项关键的技术,被用来应对物联网、智能化和生物技术领域内快速发展的技术和应用。MEMS技术持续演进,推动了器件制造工艺、新材料及封装等方面的创新,以满足未来的需求。在当今的电子系统中,MEMS已经作为一种整合技术出现在诸多不同的应用中,例如无人驾驶设备、智能电话、可穿戴电子产品、细胞计数器和机器人等等应用,新型的MEMS器件正在被快速地开发并推出。MEMS技术的拓展及其发展前景不但激励着IMT 和北京大学微纳电子学研究院等领先的制造与研究机构去自发地推动MEMS技术的先进研究和开发,同时也促动他们与行业中志同道合的伙伴积极开展合作。

  2015年,IMT与北京大学微纳电子学研究院签署战略合作伙伴协议,旨在通过携手合作加快MEMS技术在中国和美国的发展。作为该协议的一部分,IMT在MEMS研究和开发领域设立了专项奖学金,每年向北京大学的三名(个)学生个人或团队提供奖学金。该奖学金鼓励创新,并有助于在通信、人类健康、农业优化和可再生能源等众多领域中展现出MEMS制造的优势。该奖学金计划是首项在中国专门针对MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金。

  “很高兴能够代表IMT再一次为北京大学微纳电子学研究院的优秀学生颁发我们的年度专项奖学金,今年同学们提交的所有论文都以极高的质量和创新给我们留下了深刻的印象,也反映了该院在MEMS技术领域内又取得了许多技术进步和突破,”IMT 首席执行官Craig Ensley先生表示。“自2015年IMT与北京大学微纳电子学研究院形成战略关系以来,双方在开发新的MEMS制造工艺及技术方面展开了合作并已经从中获益。这将为IMT利用自己全球领先的 MEMS 器件加工技术服务中国MEMS产业带来新的机会。两个组织拥有一个共同的目标,即通过基于MEMS的技术来实现物联网及其他新兴技术的快速发展。”

  “在过去的两年中,IMT-北京大学微纳电子学研究院MEMS专项奖学金计划已经奖励了5位学生和1个学生团队。同学们的研究为MEMS工艺技术开发和制造带来了真实的贡献。该奖学金为其他青年才俊开启了一扇大门,有助于扩展他们的视野,并使他们致力于创新以迈向新一代MEMS技术。”北京大学微纳电子学研究院李志宏教授表示,“我们与IMT之间的合作伙伴关系,以及其他类似的行业合作,对于持续创新而言都是至关重要的。”

  关于IMT(Innovative Micro Technology)

  IMT是全球领先的MEMS技术和晶圆制造服务商,拥有多样化的工艺和客户。IMT成立于2000年,专门生产微机电系统(MEMS)器件。IMT拥有占地130,000平方英尺的生产厂,其中有一间30,000平方英尺、等级为100的无尘室/晶圆厂,是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圆厂之一。IMT提供MEMS量产,以及从设计到生产过程的制造服务。IMT服务的企业分布在各个应用领域,包括继电器、医疗诊断、给药、生物医学、微流体、显示屏、惯性导航、光学通信、印刷、夜视仪、红外发射器、电话/DSL切换、射频器件、电源管理、各类传感器及相关领域。IMT将始终与各公司密切合作,共同研发和制造基于MEMS技术的新型产品。更多信息,请访问www.imtmems.com。

  关于北京大学微纳电子学研究院

  北京大学微纳电子学研究院(IME/Peking University)是中国顶级的微电子/纳米电子科技研究和教育基地。其特点是拥有一套完整的教学、培训和研究体系,并配有各种先进设施。该研究院的雄厚实力反映在其水平优异、数量充足的教职员工队伍上: 30 位教授、4 位教授级高级工程师、22 位副教授、10位高级工程师、10位讲师和工程师。他们中有很多人是公认的微电子学专家,包括举世闻名的科学家王阳元教授,他还是中国科学院院士。该院还有三间配有先进设备的国家级或部级重点实验室,这些先进设备与世界上其他著名大学的设备不相上下。该院每年招收本科生约70 人,硕士生和博士生50 余人。

  北京大学微纳电子学研究院集成微纳系统(MEMS)中心成立于1996 年,是微米/纳米加工技术国家级重点实验室的一部分。其包含对硅基微纳加工技术、微纳传感器与执行器和微纳系统集成技术的基础研究和应用研究。近五年来,在顶级会议和期刊(如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS 和 JMM)上发表了100 余篇高质量研究论文。该中心还致力于促进其研究成果的产业化。例如,First MEMS 有限公司通过应用该中心的MEMS技术批量生产了压力传感器,由此为中国大陆带来了创新。


来源:            责任编辑:陈炳欣
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