半导体

华力二期12英寸项目实现首台设备搬入 为阿斯麦公司NXT 1980Di光刻机

作者:来源:中国电子报、电子信息产业网发布时间:2018-05-21 我要评论

  5月21日上午,在上海浦东新区康桥工业园南区,由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(以下简称“华虹六厂”)实现首台工艺设备——光刻机搬入, 标志着华虹六厂从基建阶段进入工艺设备安装调试阶段。

  自2016年12月30日开工以来,在参与华虹六厂建设的管理者有序组织协调下,广大建设者克服连绵阴雨、持续高温以及两个春节长假放假等不利因素,合理安排,规范和错时施工。经过16个半月的努力,目前主厂房已完成净化装修,相关配套机电设备准备就绪,具备了工艺设备搬入条件,较原计划进度提前1个半月。此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机,是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

  华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目,总投资387亿元人民币,将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线,工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底建成达产。项目主要从事逻辑芯片生产,重点服务国内设计企业先进芯片的制造,并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。项目已被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》,也是“十三五”期间上海市重大产业项目和上海市重大工程。

  华力12英寸先进生产线建设项目实现首台工艺设备搬入,标志着将康桥工业园南区打造为上海集成电路产业发展新基地、上海市落实《国家集成电路产业发展推进纲要》取得了阶段性胜利,同时对上海建设先进制造业的产业集群高地、打响“上海制造”品牌有着重要意义。

  未来五个月内,华虹六厂工艺设备将集中搬入,并完成安装调试,年底前完成生产线串线并实现试流片。


来源:中国电子报、电子信息产业网            责任编辑:陈炳欣

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